химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений

 

химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений
Процесс химического осаждения из паровой фазы, при котором используются металлоорганические соединения, термически разлагающиеся при температурах более низких, чем другие металлосодержащие соединения; метод часто используется при эпитаксиальном выращивании очень тонких пленок полупроводников III-V.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

• полупроводниковые приборы

EN

• MOCVD
• metal-organic chemical vapor deposition